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コーターデベロッパーサービス

コーターデベロッパー概要

 

弊社の標準的なサービス内容

中古装置本体の提供

  • 本体調達
  • 改造
  • リファービッシュ(再生)
  • 無償保証付き(最大1年間)
  • 専用リファブセンター
  • 大規模空調倉庫
  • R&Dセンター

※作業補償適用サービス(万が一、契約内容が実現できない場合、受注額の150%を弁償するシステム)

対応Model

       
  • - MARK-V/Vz, MARK-7/8, ACT8/12

 

生産中止品(メインコントローラ)の代替え提供

  • オリジナル品の提供及びセットアップ
  • 他社で対応不可な純正品の修理
  • 純正の機能改善(バッテリ方式→IC化)

 

立ち上げ作業項目

リークチェック/エッジリンス吐出安定性/バックリンス吐出安定性 レジスト滴下量安定性/ソルベント・DEVノズル・DEVリンスノズル吐出安定性 熱板温度測定/薬液温度・カップ温湿度・モータフランジ温度測定 スピナー回転数調整/可動部の異音/搬送系/ソフト系/電装系 プロセス条件出し補助(パーティクル/面内均一性)
以上平均5日で実施

 

MK Vz 溶媒化(RRCノズル追加改造)

MKV

MKV/Vz
作業開始後1日目で生産再開

【RRCノズル追加作業内容】

  1. COATアーム交換
  2. RRCノズル、ドレイン追加
  3. シンナー配管分岐・流量計・エアオペ・電磁弁追加
  4. 装置パラメータレストア・RRCシーケンス追加
  5. ノズル(COAT、RRC)吐出状態・位置確認・調整

(作業時間の目安:8時間)

 

 

MK Vz ネガ仕様→ ポジ仕様への改造

  1. 主な改造内容(お客様ご要求事項)
    DEVカップ、ノズル、薬液供給・Filter形式・ドレイン回収方式の変更、薬液配管張り換え、LHP追加、顧客指定の安全仕様として消火器、ガス検知器、防爆・防護パネルの新設
  2. 提供サービス
    改造部品の調達(純正/セカンドソース)、ソフトウェアパラメータ更新、リファービッシュ/改造作業、立ち上げ作業

 

MK Vz ネガ仕様→ ポジ仕様への改造

作業風景(弊社リファブ設備) DEVドレイン回収システム変更 薬液供給システム変更
 
E5ZD、LHPタワー追加 DEVノズル変更  

ACT12 薬液供給方式の変更

主な改造内容(お客様ご要求事項)

  • 薬液供給方式(キャニスター2本自動切換式へ変更、CCSSラインの追加)
  • ケミカルキャビネット内レイアウトの変更
  • 装置移設に伴うケーブル、配管延長

 

【弊社実施サービス内容】
装置立ち下げ解体、搬出、輸送、改造部品の調達(純正/セカンドソース)、ソフトウェアパラメータ更新、改造作業、立ち上げ作業、改造図面作成、純正検収基準による品質検査、安全仕様(個別)

 

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