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粉体対策

真空排気ラインの紛体対策(高性能トラップ)

半導体・液晶・太陽電池まで様々な用途に適応

改善効果

  1. 真空ポンプ、除害塔の故障低減(メンテナンスコスト削減、MTBF向上)
  2. 真空ポンプ潤滑油、配管のメンテナンス周期改善(メンテナンスコスト削減、環境保護)
  3. QC工数改善(人件費削減、消耗品削減)

改善効果

  1. 特殊フィルタ構造と材質により低圧損で大量の紛体を捕捉
  2. CVD、ドライエッチング、インプラ工程等、多様なプロセスと紛体に対応
  3. チャンバーからの液滴やミストをトラップして後段の真空ポンプを保護

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