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ステッパーサービス

ステッパーサービス概要

サービス内容

  1. 移設/立ち上げ/リファービッシュ/トラブル対応
  2. 改造/再生
    - Wafer Size(Original conversion kit)
    - Flat Zone and Notch Type
    - Wafer Alignment Stage
    - Replace VT286 Terminal and Video Converter
    - ブラインドユニット/縦スラ/WLロボット
  3. Parts 各種ボード/VAX4000-90・96/コントローラ/モータ DMCC・Alpha Station DS15/DS10等の修理/中古提供
  4. 搬出・輸送・搬入(各種専用ツール保有・輸送)

対応Model

  • N社G4〜G8, i6〜i14, 4425i
  • N社EX12, EX14
  • N社S101, S201, S202, S203, S204, S205,
    S206, S305, S306
  • N社 FX301,FX501,FX601FX602,FX701,FX702

実績

  1. 国内大手デバイスメーカー様 各工場
  2. その他国内13社/海外35社
  3. 現在まで計3000台以上の技術サービス実績
  4. 国内クレーム発生率は0%/(2011年実績:30件)

メリット

  1. 短納期(立上げなら最短5日間で完了)
  2. 各工場に専任の担当エンジニアをアサイン
  3. エンジニア34名体制(装置・部品多数在庫)

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弊社の標準的なサービス内容

コンバージョン(6⇔8インチ)

  1. コンバージョンキット(弊社準備)
  2. 既存ウエハーホルダーの変更調整(既存の仕様変更)
  3. 制御・信号系変更調整※Pre2部品手配可(但し、装置状態を事前確認要)

 

各種作業・トラブル対応

  1. ブラインドユニット/縦スラ/WLロボット/ステージOH(部品はお客様ご支給)
  2. 不具合診断/再生作業/収差調整/レーザー交換作業

 

立ち上げ作業項目(下記[1]は標準検収項目、[2]、[3]はご要望により実施)

  1. ウエハプリアライメント再現性/露光パワー/照明の均一性/露光量安定性/解像度ベストフォーカス/ウエハ吸着面の平行度/レベリング合せ面設定精度/レベリング合せ面再現精度/オートレチクルブラインド部設定精度/レチクルローテーション精度/配列の直行度ステッピング精度(ステップ/バック)/レンズディストーション/重ね合せ精度(LSA/FIA)LSテレセン/LSAフォーカス/FIAテレセン/FIAフォーカス※以上平均5日間
  2. 照明系のゴミ/最大露光範囲/FC2再現性/倍率制御精度/MESフォーカス計測再現性/MES位置ズレ計測再現性/総合焦点差/像面湾曲/像面傾斜PPD搬送動作/非點収差  ※以上平均1日作業
  3. INC調整・照明系クリーニング⇒楕円鏡/第一反射ミラー/Collector lens/Main干渉フィルタ/Sub干渉フィルタ/Input lens系/第二反射ミラー/Fly eyes lens/Half ミラー/第一Relay lens(下面)/第二Relay lens前(上面)/第三反射ミラー/第二Relay lens後/Main condenser/第四反射ミラー/Reduction lens上部/Reduction lens下部

中古装置本体の提供(本体調達+改造+技術サービス+オンコール)

コントローラ等の修理、代替え中古品エクスチェンジ

移設・搬出入・輸送(海外可)

 

  • お客様にご了解頂きたい事
    作業内容によってはお客様にご支給頂きたい部品が御座います。中古装置を再立ち上げする際、純正標準仕様を超えるお客様固有の検収項目を実現する為には、新品部品との交換が必要な場合が御座います。
  • サービスご利用における留意事項
    弊社において中古設備の在庫によりある程度の部品在庫は御座いますが、内容によってはお客様へ部品のご支給をお願いする場合も御座います。 また、メインレンズ起因の不具合については対応困難 な場合も御座います。
  • 保証について
    弊社が提供するサービスについて装置本体の再生の 場合は全てについて保証が付与されます。 ユニットや再生パーツについてはその提供ユニット単位 での保証が付与されます。 作業についてはご要望により1~3ヶ月間の無償保証が 付与されます。
  • 品質について
    全サービスは純正に準拠し提供させて頂きます。 独自改善品は6~12ヶ月間の無償保証が付与されます。

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