Service
半導体メーカー向けにコストダウン装置技術
サービスをメインとして提供してまいりました。
また、半導体製造技術を応用した異業種向けの
製品開発も今後より一層手掛けてまいります

[半導体製造装置サービス]
SERVICE

01
半導体製造装置の
再生販売・中古装置売買
ステッパー、コーターデベロッパーの旧世代モデルから現行モデルまで幅広く取扱いを行っております。
部品取り機や部品を常備できる体制強化に常に取り組んでおります。
02
装置輸送・解体・組立・立上げ等の
技術サービス
ステッパーなどの温調や振動制限の必要な精密機器を中心に海外との輸出入を行っております。
振動測定はピックアップ〜お引き渡しまでの輸送中をリアルタイムで測定しデータの提出を行う
事で信頼を獲得しています。装置の解体、組み立て、立ち上げといった一連のセットアップ作業は
純正メーカーの手順に準拠した品質で熟練エンジニアが最後まで責任を以て対応いたします。
また、お引き渡し後のアフターサービスでは保守部品、再生部品、延命対策部品など
各種部品類を取り揃えて充実したサービスを提供して参ります。
03
機能改善システムの
開発・設計・製造や各部品と
ユニット類の修理サービス
装置メーカーが保守サービスを終了した装置や、 他社では対応が困難な装置に関する仕様変更
については専門エンジニアと試験設備などの体制が構築されておりますので例えばご要求仕様の
内容を出荷前に弊社工場に設置されている同じ装置に搭載し動作試験を実施し繰り返し再現テストや
安定性確認を実施してから出荷いたしますので高品質な各種サービスを提供する事が可能です。
修理部品や付帯設備等も同様で弊社で取り扱ったメインコン修理やカップ温湿度調整器などは
修理やオーバーホール後、不具合発生などのクレームは過去一件も無く安定して量産で稼働しております。

● 各種装置サービス

ステッパー
コーターデベロッパー
AMAT各装置
マスクアライナー

[飛沫感染防止製品]
SERVICE

エアパーテーション
エアパーテーション
エアパーテーション
エアパーテーション
エアパーテーション

Evanlead the Air Partitionー
「Smart Flow（スマフロ）」

この空気のパーティションは
“飛沫だけを遮断し対面する相手と笑顔で会話できて握手も出来る”を
コンセプトとして開発された特許取得済みの世界初の製品です。
アクリルやガラス等の「透明な壁」は
“人と人を隔離する”　ツールとして一般化しつつあります。
しかし、飛沫やエアロゾルの拡散を抑える機能は
備わっていないので防止効果については定かではありません。

Evanlead the Air Partitionは目に見えない空気の壁（上から下への気流）で
飛沫を一瞬で遮断し対面する相手への飛散を防ぎます。
また、飛沫量の増減により気流の強弱制御を自動で行いLED照明と気流音で
周囲の人々に警告を促し飛沫発生源の者に対し一定の抑制効果が期待できます。


近日発売