Mask Aligner
EUでのデザインと韓国での製造による
最先端技術を結集したマスクアライナーを提供いたします。
既に世界各国の大学、研究開発機関、量産試作工場などに納入され
その台数も200台に迫る勢いで着実に納入実績を増やしております。
装置ラインナップも多数取り揃えお客様のご要求に適う仕様の装置を提供いたします。
アフターサービスも国内に部品在庫をして
サービス受け付けも24時間で万全の体制でサービスを提供いたします。

Semi Auto Mask Aligner

MDA-400LJ

Type
Fully manual
Mask size
up to 5 inch
Substrate size
piece to 4 inch circle

MDA-400LJは安価なモデルであり、水銀ランプではなくUV LED(365nm)を光源として使用するので、半永久的にランプ交換が必要ないモデルです。 処理可能な基板サイズは小さいピースの形状から、最大4インチウェハまで対応可能で小スペースで操作も簡単なところが特徴です。主に学校研究室用に適しています。

MDA-400M

Type
Fully manual
Mask size
up to 5 inch
Substrate size
piece to 4 inch circle

MDA-600S

Type
PC control semi auto
Mask size
up to 7 inch
Substrate size
piece to 6 inch circle

MDA-80MS

Type
PC control semi auto
Mask size
up to 9 inch
Substrate size
piece to 8 inch

MDA-12SA

Type
Joystick control Semi-Auto
Mask size
up to 14 inch
Substrate size
8 ~ 12 inch

Fully Auto Mask Aligner

MDA-40FA

Type
Full automatic
Mask size
up to 5 inch
Substrate size
2 ~ 4 inch

MDA-60FA

Type
Full automatic
Mask size
up to 7 inch
Substrate size
4 ~ 6 inch

MDA-80FA

Type
Full automatic
Mask size
up to 9 inch
Substrate size
6 ~ 8 inch

MDA-12FA

Type
Full automatic
Mask size
up to 14 inch
Substrate size
8 ~ 12 inch

Spin Coater

SPIN-1200T

Type
Spin coater system
Substrate size
piece ~ up to 4 inch
Spin speed
300 ~ 7,000

SPIN-3000A

Type
Spin coater system
Substrate size
piece ~ up to 8 inch
Spin speed
300 ~ 7,000 rpm

SPIN-4000A

Type
Spin coater system
Substrate size
300 ~ 5,000 rpm
Spin speed
8 ~ 12 inch