Mask Aligner
EUでのデザインと韓国での製造による
最先端技術を結集したマスクアライナーを提供いたします。
既に世界各国の大学、研究開発機関、量産試作工場などに納入され
その台数も200台に迫る勢いで着実に納入実績を増やしております。
装置ラインナップも多数取り揃えお客様のご要求に適う仕様の装置を提供いたします。
アフターサービスも国内に部品在庫をして
サービス受け付けも24時間で万全の体制でサービスを提供いたします。
最先端技術を結集したマスクアライナーを提供いたします。
既に世界各国の大学、研究開発機関、量産試作工場などに納入され
その台数も200台に迫る勢いで着実に納入実績を増やしております。
装置ラインナップも多数取り揃えお客様のご要求に適う仕様の装置を提供いたします。
アフターサービスも国内に部品在庫をして
サービス受け付けも24時間で万全の体制でサービスを提供いたします。
Semi Auto Mask Aligner
MDA-400LJ
- Type
- Fully manual
- Mask size
- up to 5 inch
- Substrate size
- piece to 4 inch circle
MDA-400LJは安価なモデルであり、水銀ランプではなくUV LED（365nm）を光源として使用するので、半永久的にランプ交換が必要ないモデルです。 処理可能な基板サイズは小さいピースの形状から、最大４インチウェハまで対応可能で小スペースで操作も簡単なところが特徴です。主に学校研究室用に適しています。
MDA-600S
- Type
- PC control semi auto
- Mask size
- up to 7 inch
- Substrate size
- piece to 6 inch circle
MDA-12SA
- Type
- Joystick control Semi-Auto
- Mask size
- up to 14 inch
- Substrate size
- 8 ~ 12 inch
Fully Auto Mask Aligner
Spin Coater
SPIN-1200T
- Type
- Spin coater system
- Substrate size
- piece ~ up to 4 inch
- Spin speed
- 300 ~ 7,000
SPIN-3000A
- Type
- Spin coater system
- Substrate size
- piece ~ up to 8 inch
- Spin speed
- 300 ~ 7,000 rpm
