Mask Aligner MDA-12FA この製品をお問い合せ Top Mask Aligner MDA-12FA MDA-12FAは全自動制御装置でウエハサイズ12インチ量産専用モデルです。 性能対比価格が合理的で主にデバイスメーカーの量産ライン工程に適しています。 製品仕様 Typ Full automatic Alignment method Full automatic Mask size up to 14 inch Alignment Accuracy 1um Substrate size 8 ~ 12 inch Process mode Soft, Hard, Vacuum contact & Proximity Uniform beam size 13.25 * 13.25 inch Process resolution 2 um @ 1 um PR thickness with vacuum contact UV light source UV Lamp, 2 kW ,5 kW Resolution 1um(ThinPR@SiWafer) Beam wavelength 350 ~ 450 nm Uniformity 4% Beam uniformity <±5 % Throughput 90WPH 365 nm intensity 2 kW : ~ 25 mW/㎠ 5 kW : ~ 45 mW/㎠ StageMovement FullyAutoControl その他のFully Auto Mask Aligner MDA-40FA MDA-60FA MDA-80FA MDA-12FA
