Mask Aligner MDA-12SA この製品をお問い合せ Top Mask Aligner MDA-12SA MDA-12SAはセミオートモデルでジョイスティックでステージを制御する型式です。 処理可能な基板サイズは8インチから、最大12インチウェハまで対応可能です。 研究所及びデバイスメーカーの準量産、量産用に適しています。 製品仕様 Typ Joystick control Semi-Auto Alignment method Joystick control Semi-Auto Mask size up to 14 inch Alignment Accuracy 1um Substrate size 8 ~ 12 inch Process mode Soft, Hard, Vacuum contact & Proximity Uniform beam size 13.25 * 13.25 inch Process resolution 2 um @ 1 um PR thickness with vacuum contac UV light source UV Lamp, 2 kW ,5 kW Beam wavelength 350 ~ 450 nm Resolution 1um Beam uniformity <±5 % BottomSide CCDCamera 365 nm intensity 2 kW : ~ 25 mW/㎠ 5 kW : ~ 45 mW/㎠ StageMovement SemiAuto Align&Focus その他のSemi Auto Mask Aligner MDA-400LJ MDA-400M MDA-600S MDA-80MS MDA-12SA
