Semi Auto Mask Aligner MDA-400M この製品をお問い合せ Top Mask Aligner MDA-400M MDA-400Mは高性能のマニュアル式のマスクアライナーです。 処理可能な基板サイズは小さいピースの形状から、最大４インチウェハまで対応可能で小スペースで操作も簡単なところが特徴です。主に学校研究室用に適しています。 製品仕様 Typ Fully manual Alignment method manual Mask size up to 5 inch Alignment Accuracy 1um Substrate size piece to 4 inch circle Process mode Soft, Hard, Vacuum contact & Proximity Uniform beam size 125 mm circle Process resolution 1 um @ 1 um PR thickness with vacuum contact UV light source UV LED Beam wavelength 365 nm Resolution 0.8um Beam uniformity <±3 % BottomSide No 365 nm intensity ~ 20 mW/㎠ StageMovement ManualControl その他のSemi Auto Mask Aligner MDA-400LJ MDA-400M MDA-600S MDA-80MS MDA-12SA
