Semi Auto Mask Aligner MDA-600S この製品をお問い合せ Top Mask Aligner MDA-600S MDA-600SはZ軸がモーターで動作する半自動装置の中で最もコンパクトでハイコストパフォーマンスな装置です。処理可能な基板サイズは小さいピースの形状から、最大6インチウェハまで対応可能でコンパクトな装置サイズに防塵メカニズムが備わっています。主に学校、研究所及びデバイスメーカーの準量産用に適しています。 製品仕様 Typ PC control semi auto Alignment method manual Mask size up to 7 inch Alignment Accuracy 1um Substrate size piece to 6 inch circle Process mode Soft, Hard, Vacuum contact & Proximity Uniform beam size 6.25 * 6.25 inch Process resolution 1 um @ 1 um PR thickness with vacuum contact UV light source UV Lamp, 350 W Beam wavelength 350 ~ 450 nm Resolution 0.8um Beam uniformity <±5 % BottomSide CCDCamera 365 nm intensity ~ 25 mW/㎠ StageMovement SemiAutoAlign &Focus Align&Focus その他のSemi Auto Mask Aligner MDA-400LJ MDA-400M MDA-600S MDA-80MS MDA-12SA
