Fully Auto Mask Aligner MDA-80FA この製品をお問い合せ Top Mask Aligner MDA-80FA MDA-80FAは全自動制御装置でウエハサイズ8インチ量産専用モデルです。 性能対比価格が合理的で主にデバイスメーカーの量産ライン工程に適しています。 製品仕様 Typ Full automatic Alignment method Full automatic Mask size up to 9 inch Alignment Accuracy 1um Substrate size 6 ~ 8 inch Process mode Soft, Hard, Vacuum contact & Proximity Uniform beam size 10.25 * 10.25 inch Process resolution 1 um @ 1 um PR thickness with vacuum contact UV light source UV Lamp, 2 kW Resolution 0.8um(ThinPR@SiWafer) Beam wavelength 350 ~ 450 nm Uniformity 3.5% Beam uniformity <±5 % Throughput 100WPH 365 nm intensity ~ 25 mW/㎠ StageMovement FullyAutoControl その他のFully Auto Mask Aligner MDA-40FA MDA-60FA MDA-80FA MDA-12FA
