Semi Auto Mask Aligner MDA-80MS この製品をお問い合せ Top Mask Aligner MDA-80MS MDA-80MSはZ軸がモーターで動作する半自動装置であり、ハイコストパフォーマンスに優れた装置です。 処理可能な基板サイズは小さいピースの形状から、最大8インチウェハまで対応可能で防塵メカニズムが備わっています。主に学校、研究所及びデバイスメーカーの準量産用に適しています。 製品仕様 Typ PC control semi auto Alignment method manual Mask size up to 9 inch Alignment Accuracy 1um Substrate size piece to 8 inch Process mode Soft, Hard, Vacuum contact & Proximity Uniform beam size 8.25 * 8.25 inch Process resolution 1 um @ 1 um PR thickness with vacuum contact UV light source UV Lamp, 1 kW Beam wavelength 350 ~ 450 nm Resolution 1um Beam uniformity <±5 % BottomSide CCDCamera 365 nm intensity ~ 25 mW/㎠ StageMovement SemiAuto Align&Focus Align&Focus その他のSemi Auto Mask Aligner MDA-400LJ MDA-400M MDA-600S MDA-80MS MDA-12SA
