Spin Coater SPIN-1200T この製品をお問い合せ Top Mask Aligner SPIN-1200T SPIN-1200Tはタッチ式のスピンコーターで小さいピースの形状から最大4インチウェハまで対応可能で省スペースで操作も簡単なところが特徴です。 主に学校研究室用に適しています。 製品仕様 Typ Spin coater system Dispenser Substrate size piece ~ up to 4 inch Weight (kg) 15 Spin speed 300 ~ 7,000 rpm(@without load) an error of less than 3 % (overseas 10,000 rpm) Dimensions (mm) 230(W) * 340(D) * 260(H) Rotationspeed 300~10,000rpm±1% Spin recipe 50 steps, 50 recipes Chuck material Anodized AL, Acetal Spinstate 50recipesx50steps (Digitalprogrammable) Bowl size 8 inch Motor/Body DCservo/SUSbody AnodizedAl AnodizedAl その他のSpin Coater SPIN-1200T SPIN-3000A SPIN-4000A
