Spin Coater SPIN-3000A この製品をお問い合せ Top Mask Aligner SPIN-3000A SPIN-3000Aはタッチ式スピンコーターで小さいピースの形状から、最大8インチウェハまで対応可能で省スペースで操作も簡単なところが特徴です。 主に学校、研究室及びデバイスメーカーの準量産用に適しています。 製品仕様 Typ Spin coater system Dispenser Substrate size piece ~ up to 8 inch Weight (kg) 30 Spin speed 300 ~ 7,000 rpm(@without load) an error of less than 3 % Dimensions (mm) 390(W) * 570(D) * 400(H) Rotationspeed 100~8000rpm±0.1% Spin recipe 50 steps, 50 recipes Chuck material Anodized AL, Acetal Spinstate 10recipesx50steps (Digitalprogrammable) Bowl size 12 inch Motor/Body ACservo/SUSbody AnodizedAl AnodizedAl その他のSpin Coater SPIN-1200T SPIN-3000A SPIN-4000A
