Spin Coater SPIN-4000A この製品をお問い合せ Top Mask Aligner SPIN-4000A SPIN-4000Aはタッチ式スピンコーターで6、8インチから最大12インチまで対応可能で主に大き目サイズのサンプルコーティングが可能で、ディスペンサーを装着してセミオートでのコーティングも可能です。 主にデバイスメーカーの研究室及び量産用に適しています。 製品仕様 Typ Spin coater system Dispenser Substrate size 8 ~ 12 inch Weight (kg) - Spin speed 300 ~ 5,000 rpm(@without load) an error of less than 3 % Dimensions (mm) - Rotationspeed 300~8000rpm±1% Spin recipe 20 steps, 20 recipes Chuck material Anodized AL, Acetal Spinstate 20resipesx20steps (Digitalprogrammable) Bowl size 18 inch Motor/Body ACservo/SUSbody Bowl material Stainless steel VacuumChuck AnodizedAl その他のSpin Coater SPIN-1200T SPIN-3000A SPIN-4000A
